证券日报网讯6月8日 ,昊华科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业,公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳 、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢 、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等 ,主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀 、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨 、六氟丁二烯等核心特气产品实现国产化替代 。公司的电子特气产品不从中东进口,美伊事件对公司电子特气影响很小。

证券日报网讯6月8日 ,昊华科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业,公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳 、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢 、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等 ,主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀 、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨 、六氟丁二烯等核心特气产品实现国产化替代 。公司的电子特气产品不从中东进口,美伊事件对公司电子特气影响很小。
